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光刻机 文章 进入光刻机技术社区

中科院光电所的“光刻机”如何与阿斯麦竞争

  • 光刻机是制造芯片的核心装备。作为芯片工业的母机,它的地位十分重要。当然,这个领域也是我们国家的装备制造业还没有达到世界一流水平的地方。我们看看中科院光电所的光刻装备如何与世界上最先进的阿斯麦光刻机竞争。
  • 关键字: 阿斯麦  光刻机  

制作一颗硅晶圆需要多少种半导体设备?光刻机仅仅是九牛一毛

  • 硅晶圆制造需要的设备远远不止这些,制造硅晶圆的难度不亚于航空母舰。之所以光刻机的关注度超越了其它半导体设备,这是由于它的技术难度是最高的,目前仅有荷兰和美国等少数国家拥有核心技术。
  • 关键字: 硅晶圆  光刻机  

国产光刻机真的这么厉害吗?这些光刻机知识您得知道

  •   近日,中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收。消息传着传着,就成了谣言——《国产光刻机伟大突破,国产芯片白菜化在即》《突破荷兰技术封锁,弯道超车》《厉害了我的国,新式光刻机将打破“芯片荒”》……笔者帮您们捋一捋!  关于光刻机,这些知识您得知道  光刻机不光是制造芯片用。一张平面(不论硅片还是什么材料)想刻出繁复的图案,都可以用光刻——就像照相,图像投在感光底片上,蚀掉一部分。半个多世纪前,美国人用这个原理“印刷”电路,从而有了大规模集成电路——芯片。为了节能和省硅料,芯片越做越小,逼得光刻机越做越极
  • 关键字: 光刻机  ASML  

拒绝技术垄断 国产首台超分辨光刻机技术浅析

  •   2018年11月29日,一则名为“宽刀雕细活 我国造出新式光刻机”的消息刷爆网络,援引自新闻中的消息,我们可以看到,由我国中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨率装备研制”通过验收。很多人振奋的原因在于这是我国自行研制的世界首台利用紫外光源实现22nm分辨率的光刻机,这意味着我国在微电子技术领域再次迈出了坚实的一步,缩小了与全球在该领域的差距。在祝贺伟大祖国的同时,我们总结了一下目前关于这方面的学术研究,为大家浅析该技术让所有国人为之震动,举国欢庆的原因。    何为光刻机? 
  • 关键字: 光刻机  

刷屏的“国产光刻机”是真牛还是吹牛?

  • 抛开唯恐天下不乱的非专业、有偏差的报道,也排除可能光电所有意或无意的误导,也许我们在未来很长一段时间内都无法打破ASML的垄断,但是也需冷静看待成果,为实质进步鼓掌。既不吹牛夸大,也不习惯偏见,更无需妄自菲薄。
  • 关键字: 光刻机  

点亮中国“芯”,这件专利会是国产光刻机的锦鲤吗?

  • 中美贸易大战把当今最先进的半导体产业推上了风口浪尖上,整个产业链上,国内半导体芯片的产业发展就卡在IC制造这一块上了。
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AMSL的光刻机如何能卖上亿美元?

  • 在晶圆加工设备中,光刻机所占的投资比高达30%,同时一台AMSL的EUV光刻机售价上亿美元,当我国企业有足够能力参与到与国际巨头竞争之时,即是芯片技术迎头赶上的那一天。
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ASML看好中国市场 最先进光刻机将入华

  •   中国集成电路制造年会近日邀请到了光刻机霸主ASML(阿斯麦)中国区总裁沈波参加,他出面解答了一些媒体关心的话题。  尽管UMC(联电)和Globalfoundries(格罗方德,格芯)先后宣布放弃7nm制程及更先进工艺的研发,但ASML依然对EUV光刻机的前景表示乐观。  此前有消息指出,中芯国际(SMIC)今年已向ASML订购了一台EUV光刻机,预计明年交付,用于7nm节点。  同时,传统的沉浸式光刻机方面,沈波称,今年下半年ASML已开始出货家族最先进的NXT:2000i,很快会在中国市场上也见到
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迫于美国政府压力,光刻机巨头荷兰ASML被曝不再招收中国员工 ...

  •   在高科技领域,美国这一年来加强了对中国人的防范,不只限于美国本土,就连欧洲公司也受到了美国政府的压力,荷兰ASML被曝禁止招收中国籍员工。  在光刻机领域,荷兰ASML公司几乎垄断了全球高端光刻机市场,在EUV光刻机中更是独一份,7nm及以后的工艺都要依赖EUV光刻机。在高科技领域,美国这一年来加强了对中国人的防范,不只限于美国本土,就连欧洲公司也受到了美国政府的压力,荷兰ASML被曝禁止招收中国籍员工。  如果说半导体产业是制造工业的皇冠,那么光刻机可以说是皇冠上的明珠,因为光刻机是半导体制造中最关
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ASML出货新光刻机NXT2000i:用于7nm/5nm DUV工艺

  •   据外媒报道,光刻机霸主ASML(阿斯麦)已经开始出货新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i双工件台深紫外光刻机),可用于7nm和5nm节点。  NXT:2000i将是NXE:3400B EUV光刻机的有效补充,毕竟台积电/GF的第一代7nm都是基于DUV工艺。  同时,NXT:2000i也成为了ASML旗下套刻精度(overlay)最高的产品,达到了和3400B一样的1.9nm(5nm要求至少2.4nm,7nm要求至少3.5nm)。  ASML将于本季度末开始量产Twin
  • 关键字: ASML  光刻机  

华虹12寸晶圆厂装备大陆最先进沉浸式光刻机:迈向14nm

  •   中芯国际花了1.2亿美元从荷兰ASML(阿斯麦)买来一台EUV极紫外光刻机,未来可用于生产7nm工艺芯片,长江存储也迎来了自己的第一台光刻机,同样来自ASML,不过是193nm沉浸式,用于产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆,7200万美元一台。  据集微网报道, 5月21日上午,在上海浦东新区康桥工业园南区,华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目(“华虹六厂”)实现首台工艺设备光刻机搬入。  这台光刻机的型号是NXT 1980Di,依然是荷兰ASML提
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探秘中国通信芯片那些事:行业中流砥柱

  • 中美经贸关系开始缓和,未来在高科技领域的合作将更多,竞争也将更加激烈。
  • 关键字: 芯片,光刻机  

价值7200万美元,长江存储首台光刻机运抵武汉

  •   长江存储的首台光刻机已于今天中午运抵武汉天河机场,设备相关的海关、商检及边防口岸的相关手续办理完成后,即可运至长江存储的工厂。据集微网独家消息,这台光刻机为ASML的193nm浸润式光刻机,售价7200万美元,用于14nm~20nm工艺。这也从侧面透露了长江存储3D NAND闪存芯片的工艺制程。这是长江存储的第一台光刻机,陆续还会有多台运抵。  图:ASML的光刻机安全降落武汉天河机场,正在卸货中  在今年的4月5日,长江存储首批400万美元的精密仪器开始进场安装,标志着国家存储器基地从厂房建设阶段进
  • 关键字: 长江存储  光刻机  

这些“细节”让中国难望顶级光刻机项背

  • 真正的核心技术靠化缘是要不来的。我们还有多少亟待攻克的关键核心技术,差距在哪,需要从哪些方面突破?
  • 关键字: 光刻机  

上海微电子采购Bumotec机床 加速中国光刻机研发

  •   去年,一台价值1.06亿元设备经空运从荷兰飞抵厦门,由于该设备价值高,而且对保存和运输有着很高的要求——保存温度必须保持在23摄氏度恒温状态下,为了避免影响设备的精度,在运输中也对稳定性有极高的要求。因此,机场海关以机坪查验的方式对该货物实行全程机边监管,待货物装入特制温控气垫车后移至海关的机坪视频监控探头之下,在完成紧急查验后当晚就放行。   没错,这台设备就是荷兰ASML的光刻机。铁流猜测,这台设备很有可能是厦门当地政府与台湾联华电子合资的晶圆厂从荷兰ASML采购的。
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